金融界2024年12月5日消息,国家知识产权局信息显示,无锡晶湛半导体有限公司申请一项名为“一种半导体结构”的专利,公开号CN 119069507 A,申请日期为2023年5月。
专利摘要显示,本公开提供了一种半导体结构,包括:依次层叠设置的支撑衬底、埋层、生长衬底、缓冲层以及异质结结构层;其中,生长衬底远离支撑衬底的一侧包括多个凹槽,缓冲层完全覆盖生长衬底的表面。本公开设置具有凹槽的生长衬底,一方面可以阻断射频信号导致的生长衬底中的寄生电路,降低生长衬底的串扰作用,从而减小射频损耗,另一方面,缓冲层从生长衬底凹槽内通过侧向外延技术形成,可以大幅地降低外延层中的位错密度,提高晶体质量,从而提升器件的电子迁移率、击穿电压以及漏电流等特性51漫画。
本文源自金融界
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